Киреев В.: Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование


Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование

Характеристика издания

Пособие/книга "Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование", автором которой является Киреев В., издана "Интеллект". Издание выполнено в твердой глянцевой обложке и растиражировано.

 

Описание

В учебно-справочном руководстве проведен анализ возможностей, особенностей, ограничений и областей применения различных литографических и нелитографических методов наноструктурирования для создания топологии ИС с элементами субстонанометрового диапазона. Показаны основные физические и химические механизмы и ограничения, лежащие в основе оптической нанолитографии, нанолитографии на экстремальном ультрафиолете, наноимпринт литографии, электронной нанолитографии и вакуумного газоплазменного травления. Приведено современное производственное оборудование различных видов нанолитографии, его операционные и конструкционно-технологические параметры, технологические и экономические характеристики реализуемых процессов. Руководство для университетов с обучением по специальностям: 210601 "Нанотехнология в электронике", 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника", 222900 "Нанотехнология и микросистемная техника", 210600 "Нанотехнология", 210100 "Электронное машиностроение", а также для инженеров и научных работников.

Интернет-магазины

"Читай-город" - огромный онлайн-магазин с удобным каталогом, поиском и большим ассортиментом книг.
"My-shop" - книжный магазин с внушительным разнообразием и хорошими ценами. 430 пунктов выдачи товаров.
"Ozon.ru" - книжный мегамаркет, аудитория которого приблизительно 700000 посетителей в сутки.
"Лабиринт" - является крупнейшим книжным магазином в Рунете. Работает в 360 городах страны.
Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование

Иллюстрации

Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование
Автор: 
Рейтинг: 
Год издания: 
2016
Число страниц: 
320
Издатель: 
Обложка: 
Твердая глянцевая
Формат: 
21.6 x 14.5 x 2

Смотрите также:


Автоэлектронная эмиссия. Принципы и приборы


Учебник-монография по актуальному направлению на стыке "классической" вакуумной электроники и нанотехнологий. Наряду с теоретическими моделями особенно подробно даны сведения об экспериментальной технике для исследований, технологиях изготовления эмиттеров и различных конструкциях автокатодов ➤ подробнее about Николай Егоров: Автоэлектронная эмиссия. Принципы и приборы.

Основы радиооптики


Многие задачи обработки информации не могут быть решены без привлечения оптических методов. Преобразование света в оптических системах изучается с использованием закономерностей, управляющих работой линейных колебательных систем. ➤ подробнее about Локшин Г.Р.: Основы радиооптики

Электромагнитное экранирование


При разработке аппаратуры инженеры все чаще сталкиваются с взаимовлияниями множества передающих и приемных устройств. Актуальными становятся задачи экранирования узлов аппаратуры и высокочастотных длинных линий. Книга дает базовые знания для их решения ➤ подробнее about Шапиро Д.Н.: Электромагнитное экранирование.

Применения GPS/ГЛОНАСС


Учебное пособие посвящено вопросам использования спутниковых радионавигационных систем (СРНС). В доступной форме излагаются принципы построения систем ГЛОНАСС/GPS, рассматриваются методы решения навигационной задачи ➤ подробнее about Марат Богданов: Применения GPS/ГЛОНАСС.

Нанотехнологии. Ударный вводный курс


Книга международного научного Общества оптики и фотоники (SPIE) методично знакомит читателя с понятием «нанотехнологий», начиная с изложения основ квантовой механики, определяющей особые свойства малоразмерных объектов (электрические, магнитные, оптические, механические и т.д.) до описания методов ➤ подробнее about Мартин-Пальма Р.: Нанотехнологии. Ударный вводный курс

Физика в истории железных дорог


В книге рассказывается об использовании фундаментальных физических законов в одной из важнейших отраслей современной техники – на железнодорожном транспорте ➤ подробнее about Кокин Сергей Михайлович: Физика в истории железных дорог.